精製装置の基礎 精製装置の基礎 【動画概要】 ガス中の不純物を除去し純度を高める生成装置の種類と用途を解説。半導体産業での重要性や、異なる方式ごとの特性とメリットを紹介します。PureMateやLPIシリーズなど、製品紹介も交えた内容です。 【時間】 0:05:04